一种硅基Micro OLED微显示器阳极及其制备方法

4 分钟 ago
shuomingshu
1 minute

描述:本发明公开了一种硅基Micro OLED微显示器阳极及其制备方法，采用清洗→涂布→曝光→显影→金属膜沉积→干法刻蚀灰化光刻胶→STR脱膜去胶的工艺进行制备，此工艺可避免传统的干法蚀刻金属膜过程中产生的污染，由于在STR脱膜去胶之前进行了干法刻蚀灰化光刻胶的预脱胶步骤，可避免光刻胶残留导致的电性不良等问题。

描述:一种硅基Micro OLED微显示器阳极及其制备方法,说明书之家,说明书,指南,手册,用户指南,使用说明,操作说明,说明书下载,说明书大全

文件大小:573 KB

文件校验:15A3634BF8563A4F98AB5A9271C0C283

说明书下载

手册详情:本发明公开了一种硅基Micro OLED微显示器阳极及其制备方法，采用清洗→涂布→曝光→显影→金属膜沉积→干法刻蚀灰化光刻胶→STR脱膜去胶的工艺进行制备，此工艺可避免传统的干法蚀刻金属膜过程中产生的污染，由于在STR脱膜去胶之前进行了干法刻蚀灰化光刻胶的预脱胶步骤，可避免光刻胶残留导致的电性不良等问题。