小型 PECVD 管式炉系统炉说明书 OTF-1200X-50-PE-S

描述:OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统，具有低温环境下进行气相沉积实验的能力，可控制薄膜应力，广泛用于各种材料沉积。

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desc:OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统，具有低温环境下进行气相沉积实验的能力，可控制薄膜应力，广泛用于各种材料沉积。