Agilent Technologies Analysis of Impurities in Semiconductor Grade TMAH using the Agilent 7500cs ICP-MS

8 月 ago
shuomingshu
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描述:该应用笔记展示了一种新型高灵敏度反应室电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）适用于半导体级四甲基铵氢氧化物（TMAH）中无机杂质的测定

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说明书简介:该应用笔记展示了一种新型高灵敏度反应室电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）适用于半导体级四甲基铵氢氧化物（TMAH）中无机杂质的测定