On-Board Cryopump Helium Circuit Decontamination Instructions

描述:说明了如何使用Helix Technology Corporation的On-Board Cryopump Helium Circuit Decontamination Kit P/N 8080250K003清除On-Board Cryopump氦回路中的气体污染物。

描述:On-Board Cryopump Helium Circuit Decontamination Instructions,说明书之家,说明书,指南,手册,用户指南,使用说明,操作说明,说明书下载,说明书大全

文件大小:113 KB

文件校验:8BC64A946757544404C6819DCD42AF12

desc:说明了如何使用Helix Technology Corporation的On-Board Cryopump Helium Circuit Decontamination Kit P/N 8080250K003清除On-Board Cryopump氦回路中的气体污染物。